01
Компензатор меха за поље вакуумског снаге
Функције производа
Вакуумска непропусност: Користећи високопрецизну технологију заваривања и посебну структуру заптивања, гарантују да нема цурења у окружењима високог вакуума у распону од 10⁻⁸ Pa·m³/s до 10⁻¹¹ Pa·m³/s, испуњавајући строге захтеве индустрија као што су полупроводници и фотонапонска енергија.
Компензација померања: Кроз еластичну деформацију меха, они апсорбују аксијална, бочна и угаона померања, избегавајући концентрацију напрезања у цевоводима узроковану термичким ширењем/скупљањем или вибрацијама опреме и продужавајући век трајања опреме.
Смањење вибрација и буке: Флексибилна структура може ефикасно смањити вибрације и буку коју преноси опрема као што су вакуум пумпе и турбомолекуларне пумпе, побољшавајући стабилност рада система.
Отпорност на корозију и високе температуре: Направљени од нерђајућег челика или специјалних легура, погодни су за корозивне гасове (као што су кисели гасови у CVD процесима) и окружења са високим температурама (-200℃ до +450℃).
Опсег примене
Полупроводничка и електронска индустрија: Користи се у вакуумским цевоводним спојевима за опрему у производњи плочица, нагризању, премазивању (PVD/CVD) итд., обезбеђујући високу чистоћу и пренос без загађења.
Системи вакуумских пумпи: Повезани са Рутсовим пумпама, ротационим крилним пумпама, молекуларним пумпама итд., ради компензације вибрација и термичких померања и побољшања перформанси заптивања.
Вакуумски вентили и прикључци комора: У машинама за вакуумско премазивање и опреми за заваривање електронским снопом, они служе као флексибилне прелазне компоненте између вентила и комора, спречавајући ризике од цурења изазване крутим везама.
Научноистраживачка и медицинска опрема: Примењује се у прецизним инструментима као што су акцелератори честица, електронски микроскопи и вакуумски лиофилизатори како би се осигурала стабилност окружења са високим вакуумом.
Нова енергетска и фотонапонска индустрија: Користи се у процесима као што су премазивање соларних ћелија и вакуумско сушење литијумских батерија, отпорна на високе температуре и хемијски корозивна окружења.
Предности производа
Прилагодљивост високом вакууму: Испуњава захтеве ултрависоког вакуума до 10⁻¹¹Pa·m³/s без испуштања гасова.
Дуготрајни дизајн: Вишеслојна структура меха са отпорношћу на замор од ≥10.000 циклуса.
Вишеструки начини повезивања: Прирубнице (KF/CF), заваривање или интерфејси за брзо спајање, компатибилни са различитим стандардима вакуума (ISO/DIN).
Услуге прилагођавања: Подржавамо прилагођавање различитих калибара (DN10~DN500), дужина и специјалних материјала (као што је Хастелој).
Вакуумски мехови од нерђајућег челика су кључне компоненте које обезбеђују ефикасан и стабилан рад вакуумске опреме, погодне за индустријска и научна истраживања са високим захтевима за чистоћу и прецизност. За техничке параметре или подршку при избору, обратите се нашем стручном тиму!





